ASTM E493

인사이드-아웃 테스트 모드에서 질량 분석기 누출 감지기를 사용한 누출 표준 사례

표준 요약

ASTM E493은 인사이드 아웃 모드에서 질량 분석기 누출 감지기를 사용하여 밀봉된 구성품의 누출을 평가하는 구조화된 방법을 정의합니다. 마이크로 일렉트로닉스, 의료 기기, 정밀 기기 등의 산업에서는 이 방법을 사용하여 밀폐 패키지의 무결성을 확인합니다. 엔지니어는 ASTM E493의 원리를 적용하여 미세한 누출을 식별하고 실제 누출률을 계산하며 제품 신뢰성을 유지할 수 있는 역량을 확보할 수 있습니다.

표준 설명

ASTM E493은 반도체, 릴레이, 불꽃 부품 및 고신뢰성 센서를 포함하여 테스트 전에 밀봉된 장치를 다룹니다. 이 표준은 측정 시 테스트 물품에 알려진 또는 계산 가능한 내부 압력의 헬륨을 포함하도록 요구합니다. 밀봉 전에 부품을 채울 수 없는 경우, 이 방법은 제어된 폭격 공정을 통해 헬륨을 주입합니다. 이 접근 방식은 장치 벽을 통과하는 가장 작은 경로도 감지할 수 있도록 보장합니다.

이 실습에서는 두 가지 주요 기술을 설명합니다:

테스트 방법 A 헬륨 폭탄을 사용하여 추적 가스를 도입합니다.
테스트 방법 B 밀봉하기 전에 헬륨으로 미리 충전합니다.

두 경우 모두 부품은 질량 분석기 누출 감지기에 연결된 배기된 인클로저로 들어갑니다. 누출이 발생하면 감지기가 헬륨 유량을 측정하고 표시된 비율을 출력합니다.

테스트 방법 A: 폭격 절차

폭격으로 테스트 부품 준비

폭격은 내부 가스를 직접 채울 수 없을 때 적용됩니다. 밀봉된 구성 요소는 미리 정해진 시간 동안 헬륨 압력 챔버에 남아 있습니다. 폭격 시간, 압력 및 체류 시간은 감도에 직접적인 영향을 미칩니다. 부적절한 제어는 일관되지 않은 결과로 이어질 수 있으므로 배치 전체에서 이러한 값을 표준화하는 것이 가장 좋습니다.

폭격 후 작업자는 질소 플러싱 또는 제어 건조를 통해 표면 헬륨을 제거해야 합니다. 이 단계는 흡착된 헬륨이 검출기에서 배경 신호를 생성하는 것을 방지합니다. 청소가 완료되면 측정을 위해 부품을 테스트 인클로저에 넣습니다. 엔지니어는 표시된 누설률과 폭격과 테스트 사이에 경과된 시간을 기록하여 실제 누설률 계산에 영향을 미칩니다.

이 표준은 방정식을 제공합니다:

이 관계는 계산된 실제 누출률이 보수적으로 유지되도록 보장하며, 중요 구성 요소에 대한 안전 계수를 내장합니다.

밀봉하기 전에 장치를 헬륨으로 채울 수 있는 경우, 방법 B는 보다 직접적인 작업 흐름을 제공합니다. 부품을 알려진 압력으로 채우고 밀봉한 후 방법 A와 동일한 내부 및 외부 조건에서 테스트합니다. 폭격이 발생하지 않으므로 계산에서 이전 방정식의 첫 번째 브래킷이 제거됩니다:

내부 압력을 알 수 있기 때문에 방법 B는 종종 더 엄격한 품질 관리와 더 빠른 사이클 타임을 지원합니다.

테스트 방법 B: 헬륨으로 미리 충전하기

사전 충전을 통한 부품 준비

품질과 신뢰성에 대한 중요성

제조업체는 ASTM E493을 사용하여 밀폐된 장치가 공기, 수증기 및 오염 물질의 장기적인 침투를 방지하는지 확인합니다. 최소한의 누출도 시간이 지남에 따라 마이크로 전자 장치나 민감한 의료 부품의 성능을 저하시킬 수 있습니다. 이 방법을 올바르게 실행하면 다운스트림 성능을 보호하고 현장 고장을 줄일 수 있습니다.

간섭 및 모범 사례

표면 코팅, 먼지, 고분자 물질 및 거친 질감은 폭격 중에 헬륨을 보유할 수 있습니다. 이러한 간섭원을 완화하지 않으면 배경 측정값이 상승하고 실제 누출이 가려질 수 있습니다. 질소 세척 또는 제어 가열을 통해 이러한 문제를 줄일 수 있습니다. 누출량이 매우 크거나 내부 부피가 매우 작은 경우, 테스트 전에 헬륨이 빠져나갈 수 있으므로 챔버에서 제거한 직후 버블 테스트 또는 다른 대량 누출 방법이 필요합니다.

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